準分子激光由Nikolai Basov, V. A. Danilychev 和 Yu. M. Popov等人于1970在莫斯科物理研究所發(fā)明。使用電子束激發(fā)氙氣二聚體,產(chǎn)生的準分子激光波長為172nm。
1975年包括美國政府的海1軍研究實驗室、諾思羅普研究和技術(shù)中心,溫州準分子預混氣,Avco Everett研究實驗室,和美國桑迪亞國家實驗室在內(nèi)的多家政府研究機構(gòu)研究利用電子束激發(fā)惰性氣體鹵化物。
1979年西德Lambda Physik公司生產(chǎn)出第1臺商業(yè)用準分子激光器。
迄今為止已經(jīng)發(fā)現(xiàn)的能夠產(chǎn)生準分子激光的氣體有10多種。
所謂準分子激光,準分子預混氣公司,是指受激二聚體所產(chǎn)生的激光。之所以產(chǎn)生稱為準分子,是因為它不是穩(wěn)定的分子,是在激光混合氣體受到外來能量的激發(fā)所引起的一系列物理及化學反應(yīng)中曾經(jīng)形成但轉(zhuǎn)瞬即逝的分子,準分子預混氣供應(yīng),其壽命僅為幾十毫微秒。準分激光是一種氣體脈沖激光,所產(chǎn)生的是波長為193nm的準分子激光,它是一種超紫外線光 波,此波長的激光吸收范圍窄,激光的能量幾乎完全被角1膜上皮細胞和基質(zhì)吸收,準分子預混氣體,超過這個范圍的組織不會吸收到激光,每一個激光脈沖可以切削0.2到 0.25um厚度的生物組織,所以周圍的組織不會損傷。
產(chǎn)品名稱:準分子激光氣體(Excimer Laser Gases)
其他名稱:氟化ya激光氣體(193nm);氟化ke激光氣體(248nm);氯化氙激光氣體(308nm)
工業(yè)技術(shù)的升級轉(zhuǎn)型需要平衡日益增長的性能需求與加工速度及制造成本之間的矛盾。準分子激光的誕生,以其高光子能量所稱著,在對突破材料限制需求越來越迫切的時代,準分子激光器再次站在了尖端工業(yè)激光解決方案的前沿。作為當今較有效、較可靠的脈沖紫外激光技術(shù)的代表,準分子激光器有效地1推進了諸如半導體、AMOLED平板顯示、薄膜、硅底板加工、有機金屬沉淀、高溫超導、刻蝕、材料研究、汽車制造、生物醫(yī)1療、光纖、鉆石打標設(shè)備及可替代能源等多種成長型工業(yè)中的技術(shù)革新。
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